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汞 探针

本专题涉及汞 探针的标准有4条。

国际标准分类中,汞 探针涉及到半导体材料。

在中国标准分类中,汞 探针涉及到半金属与半导体材料综合、、元素半导体材料。


国家质检总局,关于汞 探针的标准

  • GB/T 14146-2009 硅外延层载流子浓度测定.汞探针电容-电压法

中国团体标准,关于汞 探针的标准

  • T/IAWBS 003-2017 碳化硅外延层载流子浓度测定_汞探针电容-电压法

美国材料与试验协会,关于汞 探针的标准

  • ASTM F1393-92(1997) 用带汞探针的铣床回授靠模工具机测量器测定硅中净载流子密度的测试方法
  • ASTM F1392-00 用带汞探针的容量-电压测量法测定硅晶片中净载流子密度分布的标准试验方法

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