质谱 宽度

本专题涉及质谱 宽度的标准有3条。

国际标准分类中，质谱 宽度涉及到半导体材料。

在中国标准分类中，质谱 宽度涉及到化学、半金属与半导体材料综合。

美国材料与试验协会，关于质谱 宽度的标准

• ASTM E1438-2006 用次级离子质谱法(SIMS)测量深度掺杂分布界面宽度标准指南
• ASTM E1438-1991(1996) 用次级离子质谱法(SIMS)测量溅射深度成形界面的宽度
• ASTM E1438-1991(2001) 用次级离子质谱法(SIMS)测量溅射深度成形界面的宽度

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