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小型实体显微镜

本专题涉及小型实体显微镜的标准有15条。

国际标准分类中,小型实体显微镜涉及到光学设备、金属材料试验、光学和光学测量、分析化学、半导体分立器件、集成电路、微电子学。

在中国标准分类中,小型实体显微镜涉及到光学测试仪器、放大镜与显微镜、金属物理性能试验方法、电子元件综合、半导体分立器件综合。


韩国科技标准局,关于小型实体显微镜的标准

美国国防部标准化文件(含MIL标准),关于小型实体显微镜的标准

日本工业标准调查会,关于小型实体显微镜的标准

国家质检总局,关于小型实体显微镜的标准

美国材料与试验协会,关于小型实体显微镜的标准

国际标准化组织,关于小型实体显微镜的标准

  • ISO/WD TR 23683:2023 表面化学分析 扫描探针显微镜 使用电扫描探针显微镜对半导体器件中载流子浓度进行实验量化的指南

英国标准学会,关于小型实体显微镜的标准

  • BS CECC 00013:1985 电子元器件质量评定协调体系.基本规范:半导体小片的扫描电子显微镜检验




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