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红外反射测量方法

本专题涉及红外反射测量方法的标准有3条。

国际标准分类中，红外反射测量方法涉及到半导体材料、绝缘流体。

在中国标准分类中，红外反射测量方法涉及到、半导体分立器件综合、半金属与半导体材料综合。

中国团体标准，关于红外反射测量方法的标准

• T/IAWBS 007-2018 4H 碳化硅同质外延层厚度的红外反射测量方法

国家质检总局，关于红外反射测量方法的标准

• GB/T 14847-1993 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
• GB/T 14847-2010 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法

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