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用共线四探针法对金属薄膜的薄膜电阻的试验方法
本专题涉及用共线四探针法对金属薄膜的薄膜电阻的试验方法的标准有6条。
国际标准分类中，用共线四探针法对金属薄膜的薄膜电阻的试验方法涉及到金属材料试验、半导体材料、陶瓷。
在中国标准分类中，用共线四探针法对金属薄膜的薄膜电阻的试验方法涉及到电阻器、特种陶瓷。
美国材料与试验协会，关于用共线四探针法对金属薄膜的薄膜电阻的试验方法的标准
- ASTM F390-98(2003) 用共线四探针法对金属薄膜的薄膜耐力的试验方法
- ASTM F390-11 用共线四探针法测定金属薄膜的薄膜电阻的标准试验方法
- ASTM F390-98 具有共线四探针阵列的金属薄膜的片电阻的标准试验方法
- ASTM F1529-02 用直列式四点探测器和双配置程序评定薄膜电阻均匀性的标准试验方法
KR-KS，关于用共线四探针法对金属薄膜的薄膜电阻的试验方法的标准
- KS L 1619-2013(2023) 用四点探针阵列测试导电陶瓷薄膜电阻率的方法
日本工业标准调查会，关于用共线四探针法对金属薄膜的薄膜电阻的试验方法的标准
- JIS R 1637:1998 用四点探针排列法测定传导精细陶瓷薄膜电阻率的试验方法
可能用到的仪器设备
