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Ausrüstung für die Halbleiterproduktion

Für die Ausrüstung für die Halbleiterproduktion gibt es insgesamt 2 relevante Standards.

In der internationalen Standardklassifizierung umfasst Ausrüstung für die Halbleiterproduktion die folgenden Kategorien: Luftqualität, Feuer bekämpfen, Maschinensicherheit, Diskrete Halbleitergeräte.

American National Standards Institute （ANSI), Ausrüstung für die Halbleiterproduktion

• ANSI/NFPA 318-2011 Standard zum Schutz von Halbleiterfertigungsanlagen

Association Francaise de Normalisation, Ausrüstung für die Halbleiterproduktion

• NF C79-130-33*NF EN 60204-33:2012 Sicherheit von Maschinen – Elektrische Ausrüstung von Maschinen – Teil 33: Anforderungen an Ausrüstung für die Halbleiterfertigung.

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