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반도체 생산 장비

모두 2항목의 반도체 생산 장비와 관련된 표준이 있다.

국제 분류에서 반도체 생산 장비와 관련된 분류는 다음과 같습니다: 공기질, 소방, 기계 안전, 반도체 개별 장치.

American National Standards Institute （ANSI), 반도체 생산 장비

• ANSI/NFPA 318-2011 반도체 생산 장비 보호 표준

Association Francaise de Normalisation, 반도체 생산 장비

• NF C79-130-33*NF EN 60204-33:2012 기계의 안전 - 기계의 전기 장비 - 파트 33: 반도체 생산 장비에 대한 요구 사항.

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