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xpsで

xpsでは全部で 5 項標準に関連している。

xpsで 国際標準分類において、これらの分類：分析化学。

Association Francaise de Normalisation, xpsで

• NF ISO 16243:2012 表面化学分析 X 線光電子分光法 (XPS) でのデータロギングとレポート

International Organization for Standardization (ISO), xpsで

• ISO 16531:2020 表面化学分析 - 深さ分析 - イオン ビーム アライメント法および関連する電流または電流密度測定は、AES および XPS での深さ分析に使用されます。
• ISO 16531:2013 表面化学分析 深さプロファイリング 原子発光分光法 (AES) および光電子分光法 (XPS) における深さプロファイリングのためのイオン ビーム補正および電流または電流密度の関連測定方法。

British Standards Institution (BSI), xpsで

• BS ISO 16531:2020 表面化学分析 深さプロファイリング AES および XPS における深さプロファイリングのためのイオン ビーム アライメント法および関連する電流または電流密度の測定法
• 19/30399949 DC BS ISO 16531 表面化学分析における深さプロファイリングのためのイオンビームのアライメント方法、および AES および XPS における深さプロファイリングのための電流または電流密度の関連測定方法

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