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シリコンウェーハ要素

シリコンウェーハ要素は全部で 2 項標準に関連している。

シリコンウェーハ要素 国際標準分類において、これらの分類:分析化学。


KR-KS, シリコンウェーハ要素

  • KS D ISO 14706-2003(2023) 表面化学分析 – 全反射蛍光X線分析装置によりシリコンウェーハ表面の元素不純物を測定

Group Standards of the People's Republic of China, シリコンウェーハ要素

  • T/CASAS 032-2023 誘導結合プラズマ質量分析法による炭化ケイ素ウェーハ表面の金属元素含有量の測定




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