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イオンスパッタリング装置パラメータ

イオンスパッタリング装置パラメータは全部で 12 項標準に関連している。

イオンスパッタリング装置パラメータ 国際標準分類において、これらの分類：流体システムおよび一般部品、 真空技術、 分析化学、 放射線測定、 放射線防護。

Professional Standard - Machinery, イオンスパッタリング装置パラメータ

• JB/T 4081-1991 スパッタリングイオンポンプの種類と基本パラメータ

Professional Standard - Electron, イオンスパッタリング装置パラメータ

• SJ 1779-1981 通常のダイオードスパッタリングイオンポンプ パラメータシリーズ

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China, イオンスパッタリング装置パラメータ

• GB/T 25755-2010 真空技術、スパッタイオンポンプ、性能パラメータの測定

American Society for Testing and Materials (ASTM), イオンスパッタリング装置パラメータ

• ASTM E1162-87(2001) 二次イオン質量分析法 (SIMS) でのスパッタ深さ断面データのレポート
• ASTM E1162-87(1996) 二次イオン質量分析法 (SIMS) でのスパッタ深さ断面データのレポート
• ASTM E1162-11(2019) 二次イオン質量分析法 (SIMS) でスパッタ深さプロファイル データをレポートするための標準的な手法
• ASTM E1162-06 二次イオン質量分析法 (SIMS) でスパッタ深さ断面データを報告するための標準的な手法

British Standards Institution (BSI), イオンスパッタリング装置パラメータ

• PD IEC/TS 62743:2012 放射線防護計装 電離放射線のパルス場用の電子計数線量計

RU-GOST R, イオンスパッタリング装置パラメータ

• GOST 26874-1986 電離放射線エネルギー分析装置 基本パラメータの決定方法

International Electrotechnical Commission (IEC), イオンスパッタリング装置パラメータ

• IEC TS 62743:2012 放射線防護機器、電離放射線のパルスフィールド用の電子計数放射線量計

IEC - International Electrotechnical Commission, イオンスパッタリング装置パラメータ

• TS 62743-2012 放射線防護装置 電離放射線パルスフィールド電子計数線量計（バージョン 1.0）

German Institute for Standardization, イオンスパッタリング装置パラメータ

• DIN IEC/TS 62743:2013 放射線防護機器、電離放射線のパルス場用電子計数放射線量計 (IEC/TS 62743-2012)

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