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离子 溅射仪 参数

本专题涉及离子 溅射仪 参数的标准有13条。

国际标准分类中，离子 溅射仪 参数涉及到流体系统和通用件、真空技术、分析化学、辐射测量、辐射防护。

在中国标准分类中，离子 溅射仪 参数涉及到真空技术与设备、其他生产设备、光学计量仪器、化学、辐射防护仪器。

行业标准-机械，关于离子 溅射仪 参数的标准

• JB/T 4081-1991 溅射离子泵 型式与基本参数

行业标准-电子，关于离子 溅射仪 参数的标准

• SJ 1779-1981 普通二极型溅射离子泵.参数系列

国家质检总局，关于离子 溅射仪 参数的标准

• GB/T 25755-2010 真空技术.溅射离子泵.性能参数的测量

美国材料与试验协会，关于离子 溅射仪 参数的标准

• ASTM E1162-87(2001) 二次离子质谱法(SIMS)中报告溅射深度截面数据
• ASTM E1162-87(1996) 二次离子质谱法(SIMS)中报告溅射深度截面数据
• ASTM E1162-11(2019) 二次离子质谱法（SIMS）中溅射深度剖面数据报告的标准实施规程
• ASTM E1162-06 报告次级离子质谱法(SIMS)中溅射深度截面数据的标准实施规程

英国标准学会，关于离子 溅射仪 参数的标准

• PD IEC/TS 62743:2012 辐射防护仪器仪表 用于电离辐射脉冲场的电子计数剂量计

RU-GOST R，关于离子 溅射仪 参数的标准

• GOST 26874-1986 电离辐射能量光谱测量仪.基本参数的测定方法
• GOST 18230-1972 电离辐射半导体探测器用分光仪的电源.型式和基本参数

国际电工委员会，关于离子 溅射仪 参数的标准

• IEC TS 62743:2012 辐射防护仪器.电离辐射的脉冲场用电子计数辐射剂量计

IEC - International Electrotechnical Commission，关于离子 溅射仪 参数的标准

• TS 62743-2012 辐射防护仪器 电离辐射脉冲场电子计数剂量计（1.0版）

德国标准化学会，关于离子 溅射仪 参数的标准

• DIN IEC/TS 62743:2013 辐射防护仪器.电离辐射的脉冲场用电子计数辐射剂量计(IEC/TS 62743-2012)

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