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四探針法

四探針法は全部で 20 項標準に関連している。

四探針法 国際標準分類において、これらの分類:金属材料試験、 非鉄金属、 複合強化素材、 長さと角度の測定、 半導体ディスクリートデバイス、 包括的なテスト条件と手順、 半導体材料、 農林。


General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China, 四探針法

  • GB/T 1552-1995 インライン四探針法によるシリコンおよびゲルマニウム単結晶の抵抗率測定
  • GB/T 14141-2009 シリコンエピタキシャル層、拡散層、イオン注入層のシート抵抗測定 インライン四探針法

RU-GOST R, 四探針法

  • GOST 24392-1980 単結晶シリコンとゲルマニウム 四探針法による抵抗率の測定

Group Standards of the People's Republic of China, 四探針法

  • T/CSTM 00252-2020 炭素繊維体積固有抵抗試験方法 四探針法
  • T/CASAS 019-2021 マイクロ・ナノメタル焼結体の比抵抗測定法 四探針法
  • T/ZGIA 001-2019 グラフェンの試験方法 粉末の導電率を測定するための 4 プローブ法

Hebei Provincial Standard of the People's Republic of China, 四探針法

  • DB13/T 5255-2020 グラフェン導電性インクのシート抵抗を測定するための 4 プローブ法
  • DB13/T 5026.3-2019 グラフェン導電性スラリーの物性測定法 その3:スラリー磁極片抵抗率の測定 四探針法

Jiangsu Provincial Standard of the People's Republic of China, 四探針法

  • DB32/T 4027-2021 グラフェン粉末の導電率を測定するための動的 4 プローブ法
  • DB32/T 4378-2022 基板表面のナノおよびサブミクロンスケールの薄膜シート抵抗を非破壊検査するための 4 プローブ法

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会, 四探針法

  • GB/T 39978-2021 ナノテクノロジー カーボンナノチューブ粉末抵抗率 四探針法
  • GB/T 1551-2021 直流四探針法および直流二探針法によるシリコン単結晶の比抵抗測定

American Society for Testing and Materials (ASTM), 四探針法

  • ASTM F390-98(2003) 共線四探針法による金属皮膜の皮膜耐久性試験方法
  • ASTM F390-11 共線四探針法による金属薄膜のシート抵抗を測定するための標準試験方法

British Standards Institution (BSI), 四探針法

  • PD IEC TS 62607-6-1:2020 ナノ加工の重要な制御特性 グラフェンベース材料の体積抵抗率: 4 探針アプローチ

Korean Agency for Technology and Standards (KATS), 四探針法

  • KS C IEC TS 62607-6-1:2022 ナノ加工、重要な制御特性、パート 6-1: グラフェンベースの材料、体積抵抗率: 4 探針法
  • KS D 0260-1999 単結晶シリコンウェーハの抵抗率を検査するための四探針法

International Electrotechnical Commission (IEC), 四探針法

  • IEC TS 62607-6-1:2020 ナノ製造の重要な制御特性 パート 6-1: グラフェンベースの材料の体積抵抗率: 4 探針法

KR-KS, 四探針法

  • KS C IEC TS 62607-6-1-2022 ナノ加工、重要な制御特性、パート 6-1: グラフェンベースの材料、体積抵抗率: 4 探針法

Japanese Industrial Standards Committee (JISC), 四探針法

  • JIS H 0602:1995 四探針法を用いたシリコン結晶およびシリコンウェーハの抵抗率の試験方法




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