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확산로

모두 8항목의 확산로와 관련된 표준이 있다.

국제 분류에서 확산로와 관련된 분류는 다음과 같습니다: .

Professional Standard - Electron, 확산로

• SJ/T 11451-2022 확산로 에너지 소비 사양
• SJ/T 11451-2013 확산로 에너지 소비 사양
• SJ 2065-1982 반도체 소자 생산에 사용되는 확산로의 시험 방법
• SJ/T 31131-1994 4304 유형 확산로 무결성 요구 사항 및 검사 및 평가 방법
• SJ 1794-1981 반도체 소자 생산용 확산로 일반 기술 조건
• SJ/T 31132-1994 ASM 유형 마이크로컴퓨터 확산로 무결성 요구 사항 및 검사 및 평가 방법
• SJ/T 11883-2022 확산로의 열수지, 열효율 및 종합 에너지 소비량 계산 방법

Professional Standard - Machinery, 확산로

• JB/T 5630-1991 반도체 소자 확산로 에너지 소비 분류

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