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扩散炉
本专题涉及扩散炉的标准有8条。
国际标准分类中，扩散炉涉及到。
在中国标准分类中，扩散炉涉及到、经济管理、技术管理、加工专用设备。
行业标准-电子，关于扩散炉的标准
- SJ/T 11451-2022 扩散炉能源消耗规范
- SJ/T 11451-2013 扩散炉能源消耗规范
- SJ 2065-1982 半导体器件生产用扩散炉测试方法
- SJ/T 31131-1994 4304型扩散炉完好要求和检查评定方法
- SJ 1794-1981 半导体器件生产用扩散炉.通用技术条件
- SJ/T 31132-1994 ASM型微机扩散炉完好要求和检查评定方法
- SJ/T 11883-2022 扩散炉热平衡和热效率及综合能耗的计算方法
行业标准-机械，关于扩散炉的标准
- JB/T 5630-1991 半导体器件扩散炉 能耗分等
