电镜分辨率影响因素

主要影响因素1 扫描电子束斑直径一般认为在理想的情况下，扫描电镜的分辨率不可能小于扫描电子束斑直径，故束斑直径越小，电镜的分辨本领越高。束斑直径主要取决于电子光学系统（电子枪等）2 入射电子束在样品中的扩展效应例如不同的入射电子能量导致

主要影响因素1 扫描电子束斑直径一般认为在理想的情况下，扫描电镜的分辨率不可能小于扫描电子束斑直径，故束斑直径越小，电镜的分辨本领越高。束斑直径主要取决于电子光学系统（电子枪等）2 入射电子束在样品中的扩展效应例如不同的入射电子能量导致

主要影响因素1 扫描电子束斑直径一般认为在理想的情况下，扫描电镜的分辨率不可能小于扫描电子束斑直径，故束斑直径越小，电镜的分辨本领越高。束斑直径主要取决于电子光学系统（电子枪等）2 入射电子束在样品中的扩展效应例如不同的入射电子能量导致

主要影响因素1 扫描电子束斑直径一般认为在理想的情况下，扫描电镜的分辨率不可能小于扫描电子束斑直径，故束斑直径越小，电镜的分辨本领越高。束斑直径主要取决于电子光学系统（电子枪等）2 入射电子束在样品中的扩展效应例如不同的入射电子能量导致

主要影响因素1 扫描电子束斑直径一般认为在理想的情况下，扫描电镜的分辨率不可能小于扫描电子束斑直径，故束斑直径越小，电镜的分辨本领越高。束斑直径主要取决于电子光学系统（电子枪等）2 入射电子束在样品中的扩展效应例如不同的入射电子能量导致

3nm-6nm, 场发射源SEM分辨率可达到1nm 。高分辨率的电子束直径要小，分辨率与子束直径近似相等。　　影响扫描电镜的分辨率的主要因素有：　　1.入射电子束束斑直径：为扫描电镜分辨率的极限。一般，热阴极电子枪的最小束斑直径可缩小到6nm，场

样品，电子探针束斑直径1nm　　或　　2nm，其空间分辨率没有差别。其信号取样范围直径和电子穿透深度相近，大多情况，其分辨率和加速电压相关较多。　　总结：提到扫描电镜分辨率，大概就是在说这台电镜的性能，用se成像分辨率是最为精确的表达，主要影响因素为末级电子探针束斑直径和样品材质。

，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构；③试样制备简单。　　影响扫描电镜（SEM）的几大要素：　　1、分辨率　　影响扫描电镜的分辨本领的主要因素有：　　A. 入射电子束束斑直径：为扫描电镜分辨本领的极限。一般，热阴极电子枪的

位置不同，结果远离光轴的射线就会在像面上形成一个最小模糊圈。此时可有图象中央凸起感。球差是目前影响电镜分辨率的一个主要因素。  2、畸变：由于离轴较远处的径向磁场的作用力强，使放大倍数随物点离轴的距离而变化，进而使图象发生改变而产生的。畸变常见的有枕形畸变、桶形畸变和S形畸变等。