俄歇效应研究应用
1953 年，兰德首次进行了俄歇电子能谱用于表面分析的研究。到1967年哈里斯采用电子能量微分法，使电子能量分布曲线上的俄歇谱峰通本底区分开来，才使得俄歇效应的应用走上实用阶段。
图1 俄歇电子能谱仪
基于俄歇效应的俄歇电子能谱仪是一种实用较广的表面分析仪器 [1] ，它靠检测自表面逸出的俄歇电子的特征能谱铏表面成份分析，了解表面的化学环境等。俄歇电子能谱仪的结构如图1所示，它由置于超高真空的旋转式样品台、电子枪（激发源）、离子枪、电子能量分析器、电子探测器等部件组成主体，附加检测电路及记录显示系统组成，近代产品都配有计算机进行数据处理。
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