GB/T 42897-2023
微机电系统（MEMS）技术硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法

Micro-electro-mechanical systems (MEMS) technology silicon-based MEMS nano-thick film tensile strength test method

GBT42897-2023, GB42897-2023

微机电系统（MEMS）技术硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法, 您可以免费下载预览页

高级搜索

GB/T 42897-2023 发布历史

GB/T 42897-2023由国家质检总局 CN-GB 发布于 2023-08-06，并于 2023-12-01 实施。

GB/T 42897-2023 在中国标准分类中归属于: L59 微型组件，在国际标准分类中归属于: 31.200 集成电路、微电子学。

GB/T 42897-2023 微机电系统（MEMS）技术硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法的最新版本是哪一版？

最新版本是 GB/T 42897-2023 。

GB/T 42897-2023的历代版本如下：

2023年 GB/T 42897-2023 微机电系统（MEMS）技术硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法

标准号: GB/T 42897-2023
别名: GBT42897-2023
GB42897-2023
发布: 2023年
发布单位: 国家质检总局
当前最新: GB/T 42897-2023

GB/T 42897-2023相似标准

GB/T 2900.104-2021 电工术语微机电装置 GB/T 26111-2010 微机电系统（MEMS）技术术语 GB/T 38446-2020 微机电系统（MEMS）技术带状薄膜抗拉性能的试验方法 GB/T 28276-2012 硅基MEMS制造技术.体硅溶片工艺规范 GB/T 28275-2012 硅基MEMS制造技术.氢氧化钾腐蚀工艺规范

推荐

微流控技术原理及发展史（一）

伴随着微机电加工系统（ MEMS ）技术的发展，电子计算机已由当年的”庞然大物”演变成由一个个微小的电路集成芯片组成的便携系统，甚至是一部微型的智能手机。...

钛MEMS技术在药物输送和微流控领域的应用

总结来说，该研究成果证明了钛MEMS技术在制造坚固性、安全性和性能增强的新型药物输送和微流控系统的应用前景。...

传感器的常见类型有哪些

⑪、微机电系统　　微机电系统（MEMS）由1至100微米之间的组件大小组成。最zhi得注意的元素是微传感器和微致动器。　　在集成微电子的控制下，MEMS设备的范围从简单的结构到具有多个移动元件的极其复杂的机电系统，一应俱全。换句话说，MEMS传感器是一种精密设备，其中机械零件和微型传感器以及信号调节电路都制造在一小片硅芯片上。　　...

部分参展设备Filmetrics F50膜厚测量仪F50可以非常简单地获得最大直径450毫米的样品薄膜厚度分布图。采用r-θ 极坐标移动平台，可以快速定位所需的测试点并且实时获得测试厚度，大约2点/秒。相关应用：半导体制造（光刻胶、氧化物/氮化物/SOI、晶圆背面研磨）；LCD 液晶显示器（聚酰亚胺、ITO 透明导电膜）；光学镀膜（硬涂层、抗反射层）；MEMS 微机电系统（光刻胶、硅系膜层）。...

GB/T 42897-2023微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法