T/CSTM 00003-2019
二维材料厚度测量 原子力显微镜法
Thickness measurements of two-dimensional materials Atomic force microscopy (AFM)
- 标准号
- T/CSTM 00003-2019
- 发布
- 2019年
- 发布单位
- 中国团体标准
- 当前最新
- T/CSTM 00003-2019
- 适用范围
- 本标准规定了二维材料厚度测量 原子力显微镜法的原理、仪器设备、样品前处理、测试方法、厚度计算方法、测量结果的不确定度评定及测试报告。 本标准适用于可以与基底形成台阶的二维材料厚度测量。
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