利用微机械剥离技术,研究人员首先从层状材料中剥离出更薄的层状材料,这样剥离出的层状材料具有新鲜的表面层,当两个新鲜表面层相互摩擦时,就会出现一些薄片碎屑。这种现象虽然在生活中很常见,但由于薄片的特殊厚度,导致无法观察薄片的显微结构----薄片在基质上常常显得非常透明。然而随着电子显微技术特别是原子力显微镜的发明,人们得以近距离观察研究这类薄片的结构。...
样品的2D主形貌和3D主形貌和样品的粗糙度值Ra和Rq台阶高度和纳米片厚度的测量在半导体加工过程中通常需要测量高纵比结构,像沟槽和台阶,以确定刻蚀的深度和宽度。这些在SEM下只有将样品沿截面切开才能测量,AFM(原子力显微镜)可以对其进行无损的测量,同时,AFM(原子力显微镜)在垂直方向的分辨率约为0.01nm,因此可以很好的用于表征纳米片厚度。...
2.扫描探针技术扫描探针技术包括原子力显微术(AFM)和扫描隧道显微术(STM)两种模式,可以分别观测材料的表面形貌和原子结构。AFM 被认为是表征Gr片层结构的最有力且最直接有效的工具。单层Gr的厚度通常在0.4~0.7nm,通过AFM的高度曲线可以直接估算出Gr的层数。如图3所示的Gr主要由单层Gr和双层Gr组成。...
最近,香港理工大学的柴扬(通讯作者)、香港理工大学和南昌大学的王雨(通讯作者)等人在透射电镜下原位观察二硫化钼片这样一种新型二维材料在高温下生长的过程。他们巧妙地设计了一个化学合成路径,采用基于微机电系统(MEMS)技术的加热样品台和原位高分辨透射电镜(in-situ TEM),首次实现了对二硫化钼的生长过程的原子尺度实时观察和记录。...
Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号