该平衡对应于溅射稳态,并且一旦达到,就可以使用相对灵敏度因子对参考标准样品进行可靠的定量。动态SIMS的主要应用之一是痕量元素的深度分布分析(例如,半导体中的掺杂物或污染物)。离子碰撞能量根据感兴趣的深度和所需的深度分辨率进行调整。低能量(低至150eV)用于减少因碰撞级联引起的原子混合,并将深度分辨率提高到亚纳米级别。...
在使用S-SIMS进行分析时,目前可以查找到多种有机化合物的标准谱图,可以参照手册对典型化合物进行定性分析。但在分析一些手册中没有的化合物,一般需要先测定化学结构已知的标准样品,并将测定结果作为解析的基本谱图。3.3 SIMS仪器类型[2]根据微区分析能力和数据处理方式,可以将SIMS分为三种类型:(1)非成像型离子探针。...
5.分析方法参考标准 ASTM E1078-2009 表面分析中试样制备和安装程序的标准指南 ASTM E1504-2011 次级离子质谱(SIMS)测定中质谱数据报告的标准规范 ASTM E1829-2009 先于表面分析的样品处置标准指南 ...
采用相同的试验条件对同一组样品检测。 2 结果与讨论 SIMS深度剖析给出的原始测试结果数据是监测元素二次离子强度对溅射时间的曲线,反映元素浓度的相对变化趋势,对深度和浓度定标后,可以得到元素浓度对深度的分布图。 ...
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