T/ICMTIA 5.3-2020
集成电路用ArF光刻胶光刻检测方法
Lithography ArF Photo Resist of measurement for Intergraded circuits
T/ICMTIA 5.3-2020 中，可能用到以下仪器设备
- 标准号
- T/ICMTIA 5.3-2020
- 发布
- 2020年
- 发布单位
- 中国团体标准
- 当前最新
- T/ICMTIA 5.3-2020
- 本文件规定了ArF光刻胶的光刻检测要求及方法、检测标准及包装、运输、存储及环保要求。
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