ISO 14644-13:2017
洁净室和相关控制环境 - 第13部分:清洁表面以达到在颗粒和化学分类方面确定的清洁度
Cleanrooms and associated controlled environments — Part 13: Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical classifications
- 标准号
- ISO 14644-13:2017
- 发布
- 2017年
- 中文版
- GB/T 25915.13-2022 (等同采用的中文版本)
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 14644-13:2017
ISO 14644-13:2017相似标准
BS EN ISO 14644-13:2017 洁净室和相关控制环境 - 第13部分：清洁表面以达到在颗粒和化学分类方面确定的清洁度
DIN EN ISO 14644-13:2017-11 洁净室和相关受控环境 第13部分：表面清洁 以达到颗粒和化学分类方面规定的清洁度水平
UNE-EN ISO 14644-13:2018 洁净室和相关受控环境 第13部分：表面清洁 以达到颗粒和化学分类方面规定的清洁度水平
NF EN ISO 14644-13:2017 洁净室和相关受控环境 - 第 13 部分：表面清洁以达到颗粒物和化学分类的清洁度水平
KS I ISO 14644-13:2019 洁净室和相关控制环境第13部分:根据颗粒和化学分类达到规定清洁度的表面清洁