GB/T 42274-2022
氮化铝材料中痕量元素（镁、镓）含量及分布的测定 二次离子质谱法
Determination of the content and distribution of trace elements (magnesium, gallium) in aluminum nitride materials—Secondary ion mass spectrometry
GBT42274-2022, GB42274-2022
GB/T 42274-2022 中，可能用到以下仪器设备
- 标准号
- GB/T 42274-2022
- 别名
- GBT42274-2022
GB42274-2022 - 发布
- 2022年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 42274-2022
- 引用标准
- GB/T 14264 GB/T 22461 GB/T 25186 GB/T 32267
- 本文件描述了氮化铝单晶中痕量镁和镓含量及分布的二次离子质谱测试方法。 本文件适用于氮化铝单晶中痕量镁和镓含量及分布的定量测定,测定范围为镁、镓的含量均不小于1×1016cm-3 ,元素含量(原子个数百分比)不大于1%。 注:氮化铝单晶中待测元素的含量以每立方厘米中的原子个数计。
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