ASTM F1809-02
ASTM F1809-02

标准号

ASTM F1809-02

发布

1970年

发布单位

/

当前最新

ASTM F1809-02

 

 

引用标准

ASTM C18 ASTM C28 ASTM C35 ASTM D5127 ASTM F1725 ASTM F1726 ASTM F1727 ASTM F1810

适用范围

1.1 本指南涵盖了为揭示硅片结构缺陷而开发的化学溶液的配制、选择和使用。蚀刻解决方案可识别对电路性能和硅器件产量产生不利影响的晶体缺陷。样品制备、温度控制、蚀刻技术和蚀刻剂的选择都是蚀刻方法成功使用的关键因素。本指南提供了几种蚀刻液的信息，供用户根据需要进行选择。欲了解更多信息，请参阅附录 X1 和图 12。 1-32。对于优先计算硅晶片中蚀刻或装饰表面缺陷的测试方法，请参阅测试方法 F 1810。
1.2 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。

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