ASTM F154-00
镜面硅表面存在的结构和污染物识别的标准指南
Standard Guide for Identification of Structures and Contaminants Seen on Specular Silicon Surfaces
- 标准号
- ASTM F154-00
- 发布
- 2000年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 替代标准
- ASTM F154-02
- 当前最新
- ASTM F154-02
- 引用标准
- ASTM F1241 ASTM F1725 ASTM F1726 ASTM F1727 ASTM F1809 ASTM F1810 ASTM F523
- 适用范围
- 1.1 本指南的目的是列出、说明高镜面硅晶圆上的各种特征和污染物，并提供参考。参考了描述和观察这些工件的推荐实践。本指南中描述的工件旨在平行和支持 SEMI M18 的内容。这些工件和常见同义词按字母顺序排列在表 1 和表 2 中，并在图 1 和 2 中进行了说明。 1-68。