ISO 14606:2000
表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法

Surface chemical analysis - Sputter depth profiling - Optimization using layered systems as reference materials


说明:

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标准号
ISO 14606:2000
发布
2000年
中文版
GB/T 20175-2006 (等同采用的中文版本)
发布单位
国际标准化组织
替代标准
ISO 14606:2015
当前最新
ISO 14606:2022
 
 
本国际标准为使用适当的单层和多层参考材料优化溅射深度分析参数提供了指导,以便根据俄歇电子能谱、X射线光电子能谱和二次离子质量中的仪器设置实现最佳深度分辨率光谱测定法。 本国际标准无意涵盖特殊多层系统的使用,例如δ掺杂层。

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