ISO 14606:2000
表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法

Surface chemical analysis - Sputter depth profiling - Optimization using layered systems as reference materials

被代替

ISO 14606:2000 发布历史

ISO 14606:2000由国际标准化组织 IX-ISO 发布于 2000-10。

ISO 14606:2000 在中国标准分类中归属于: G04 基础标准与通用方法，在国际标准分类中归属于: 71.040.40 化学分析。

本标准有等同采用的 中文版 GB/T 20175-2006 表面化学分析.溅射深度剖析.用层状膜系为参考物质的优化方法

ISO 14606:2000的历代版本如下：

• 2022年 ISO 14606:2022 表面化学分析.溅射深度轮廓.使用分层系统作为参考材料的优化
• 2015年 ISO 14606:2015 表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法
• 2000年 ISO 14606:2000 表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法

本国际标准为使用适当的单层和多层参考材料优化溅射深度分析参数提供了指导，以便根据俄歇电子能谱、X射线光电子能谱和二次离子质量中的仪器设置实现最佳深度分辨率光谱测定法。 本国际标准无意涵盖特殊多层系统的使用，例如δ掺杂层。

标准号

ISO 14606:2000

发布

2000年

中文版

GB/T 20175-2006 (等同采用的中文版本)

发布单位

国际标准化组织

替代标准

ISO 14606:2015

当前最新

ISO 14606:2022

 

 

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