GB/T 20175-2006
表面化学分析.溅射深度剖析.用层状膜系为参考物质的优化方法
Surface chemical analysis.Sputter depth profiling.Optimization using layered systems as reference materials
说明：
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GB/T 20175-2006系列标准
GB/T 20175-2006 中可能用到的仪器设备
过程质谱/在线质谱
ICP-MS
MALDI质谱
液相色谱仪LC
电镜附件及外设
同位素质谱仪
二次离子质谱/离子探针
色谱自动进样器（多功能）
电镜制样设备
气质联用仪
液质联用仪
核磁共振波谱仪
离子迁移谱
扫描探针/原子力显微镜SPM/AFM
顺磁共振波谱仪
pH计
X荧光光谱/XRF（能量色散型X荧光光谱仪）
X射线能谱仪(EDS)
激光器
透射电镜TEM
光源/氙灯光源/汞灯光源
电镜用X射线能谱仪EDS
紫外可见分光光度计
红外光谱仪
定氮仪、凯氏定氮仪、Dumas定氮仪
光纤光谱仪
X射线衍射仪(XRD)
气相色谱仪GC
硬度计
粘度计
激光粒度仪、纳米粒度仪
离子溅射仪
干燥设备/烘箱/干燥箱
移液器Liquid Handling
水浴/油浴/恒温槽
冻干机/冷冻干燥机
本生灯
蠕动泵/注射泵
临床诊断实验室自动化系统
凝胶/WB/CL成像系统
PCR仪
酶标仪
PM2.5/PM10/PM1/TSP环境大气颗粒物监测仪
VOC检测仪/TVOC监测仪
场强仪/电磁场强分析仪
辐射仪/射线检测仪
气象站
挤出机、注塑机
溶出度仪
原子层沉积系统（ALD）
原子层沉积系统（ALD）
红外热成像仪
天平/电子天平/分析天平