GB/T 20175-2006
表面化学分析.溅射深度剖析.用层状膜系为参考物质的优化方法

Surface chemical analysis.Sputter depth profiling.Optimization using layered systems as reference materials


哪些标准引用了GB/T 20175-2006

 

GB/T 20175-2006



标准号
GB/T 20175-2006
发布日期
2006年03月27日
实施日期
2006年11月01日
废止日期
中国标准分类号
N33
国际标准分类号
71.040.40
发布单位
CN-GB
适用范围
为使俄歇电子能谱、X射线光电子能谱和二次离子质谱的仪器设定达到深度分辨的优化目的,本标准采用适当的单层和多层膜系参考物质,提供优化溅射深度剖析参数的指南。 特殊多层膜系(如各种掺杂层膜系)的使用不包括在本标准内。

GB/T 20175-2006系列标准


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