GB/T 8758-2006
砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法
Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference
- 标准号
- GB/T 8758-2006
- 发布日期
- 2006年07月18日
- 实施日期
- 2006年11月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- H17
- 国际标准分类号
- 77.040.01
- 发布单位
- CN-GB
- 被代替标准
- GB/T 8758-1988
- 适用范围
- 本标准适用于砷化镓外延层厚度的测量，测量厚度大于2μm。要求衬底材料的电阴率小于0.02Ω•cm，外延层的电阴率大于0.1Ω•cm。