GB/T 8758-2006
砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法
Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference
GB/T 8758-2006 发布历史
本标准适用于砷化镓外延层厚度的测量，测量厚度大于2μm。要求衬底材料的电阴率小于0.02Ω•cm，外延层的电阴率大于0.1Ω•cm。
GB/T 8758-2006由国家质检总局 CN-GB 发布于 2006-07-18，并于 2006-11-01 实施。
GB/T 8758-2006 在中国标准分类中归属于: H17 半金属及半导体材料分析方法，在国际标准分类中归属于: 77.040.01 金属材料试验综合。
GB/T 8758-2006的历代版本如下：
- 1988年02月25日 GB/T 8758-1988 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法
- 2006年07月18日 GB/T 8758-2006 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法
GB/T 8758-2006 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法 由 GB/T 8758-1988 变更而来。
- 标准号
- GB/T 8758-2006
- 发布日期
- 2006年07月18日
- 实施日期
- 2006年11月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- H17
- 国际标准分类号
- 77.040.01
- 发布单位
- CN-GB
- 被代替标准
- GB/T 8758-1988
- 适用范围
- 本标准适用于砷化镓外延层厚度的测量，测量厚度大于2μm。要求衬底材料的电阴率小于0.02Ω•cm，外延层的电阴率大于0.1Ω•cm。