ASTM E2246-11
用光学干涉仪测量反射薄膜应变梯度的标准试验方法

Standard Test Method for Strain Gradient Measurements of Thin, Reflecting Films Using an Optical Interferometer

被代替

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标准号

ASTM E2246-11

发布

2011年

发布单位

美国材料与试验协会

替代标准

ASTM E2246-11e1

当前最新

ASTM E2246-11(2018)

 

 

应变梯度值有助于 MEMS 器件的设计和制造。1.1 该测试方法涵盖了测量反射薄膜中应变梯度的程序。它仅适用于薄膜，例如微机电系统 (MEMS) 材料中的薄膜，可以使用光学干涉仪（也称为干涉显微镜）对其进行成像。不接受接触底层的悬臂进行的测量。 1.2 本测试方法使用非接触式光学干涉显微镜，能够获取地形 3-D 数据集。它是在实验室进行的。 1.3 本标准并...

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