JC/T 2133-2012
半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 —电感耦合等离子体原子发射光谱法
Determination of impurities in silica sol for polishing solution in semiconductor industry.Inductively coupled plasma atomic emission spectrometric method
JCT2133-2012, JC2133-2012
JC/T 2133-2012 中，可能用到以下仪器
- 标准号
- JC/T 2133-2012
- 别名
- JCT2133-2012
JC2133-2012 - 发布
- 2012年
- 发布单位
- 行业标准-建材
- 当前最新
- JC/T 2133-2012
- 引用标准
- GB/T 602 GB/T 6682
- 本标准规定了采用电感耦合等离子体原子发射光谱(ICP-AES)法测定半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的方法。本标准适用于半导体化学机械抛光(CMP)中抛光液用的各种硅溶胶。杂质元素包括：铝、钡、钙、铬、铜、铁、钾、镁、锰、钠、镍、钛、锌、锆等14种元素。
JC/T 2133-2012相似标准
推荐
电感耦合等离子体发射光谱仪的相关知识了解
电感耦合等离子体原子发射光谱法（ICP-AES）是以电感耦合等离子炬为激发光源的一类光谱分析方法，它是一种由原子发射光谱法衍生出来的新型分析技术。它能够方便、快速、准确地测定水样中的多种金属元素和准金属元素，且没有显著的基体效应。ICP-AES方法的原理： 等离子体发射光谱法可以同时测定样品中的多元素的含量。当氩气通过等离子体火炬时，经射频发生器所产生的交变电磁场使其电离、加速并与其他氩原子碰撞。...
工信部发布第四批行业标准制修订计划 涉ICP-MS、HPLC等
本次发布的标准中，包括了化学化工、化学品、节能、印染、金属及半导体材料的检测方法和仪器检测标准等，涉及原子吸收光谱法、电感耦合等离子体原子发射光谱法、电感耦合等离子体质谱法、电位滴定法、离子色谱法、高效液相色谱法、分光光度法以及化学分析测定方法等。...
555项拟立项国家标准立项在即 涉光谱、色谱、质谱检测
、铁、硅、硼量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法推制金砷合金 砷量测定 电感耦合等离子体发射光谱法推制铑化合物化学分析方法 第2部分：杂质元素的测定 电感耦合等离子体发射光谱法推制钯化合物分析方法 氯量的测定 离子色谱法推制核级银-铟-镉合金化学分析方法推修稀土金属及其氧化物中稀土杂质化学分析方法 第1部分：镧中铈、镨、钕、钐、铕、钆、铽、镝、钬、铒、铥、镱、镥和钇量的测定推修稀土金属及其氧化物中稀土杂质化学分析方法...
金属元素分析方法
金属元素分析是指对金属元素的含量、组成、成分及其它性质进行测定的方法。主要包括对金属中金属元素的总量，包括铜、铝、铅、锌、镉等的测定，对金属元素含量及其成分的分析。金属元素分析主要是用来分析金属中所含的各种元素。常用的方法有：原子吸收光谱法；原子荧光光谱法；电感耦合等离子体发射光谱法；质谱法；X射线荧光光谱法等。...