GB/T 30654-2014
Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法

Test method for lattice constant of Ⅲ-nitride epitaxial layers

GB/T 30654-2014 中，可能用到以下仪器设备

 

赛默飞 ISQ 7000 单四极杆气质联用仪 GC-MS 系统

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ICPMS-2030电感耦合等离子体质谱仪

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岛津企业管理（中国）有限公司/岛津（香港）有限公司

 

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SPECTRO MS双聚焦ICP-MS等离子质谱仪

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Rigaku理学NEX-CG能量色散X荧光分析仪

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NexION 350系列电感耦合等离子体质谱仪ICP-MS

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珀金埃尔默企业管理（上海）有限公司PerkinElmer

 

耶拿PlasmaQuant MS 电感耦合等离子体质谱仪

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NexION 1000 电感耦合等离子体质谱仪

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珀金埃尔默企业管理（上海）有限公司PerkinElmer

 

GC-MS 7000系列

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江苏天瑞仪器股份有限公司

 

赛默飞 ISQ 7000 单四极杆气质联用仪 GC-MS 系统

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牛津仪器（上海）有限公司

 

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帕纳科Zetium X射线荧光光谱仪(XRF)

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科研手持XRF光谱仪 TRACER 5g/手持光谱仪

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布鲁克光谱仪器公司(BRUKER OPTICS)

 

HORIZON 全反射X荧光光谱仪

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手持式XRF光谱仪- 有害元素筛选

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牛津仪器（上海）有限公司

 

反射模式样品进样器（粉末衍射）

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北京优纳珂科技有限公司

 

布鲁克 D8 D8 ADVANCE 达芬奇 X射线衍射仪

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布鲁克衍射荧光事业部（AXS）

 

X-Supreme8000能量色散X射线荧光光谱仪

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日立EA1000VX X射线荧光分析仪

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GB/T 30654-2014

标准号
GB/T 30654-2014
发布日期
2014年12月31日
实施日期
2015年09月01日
废止日期
无
中国标准分类号
H21
国际标准分类号
77.040.20
发布单位
CN-GB
适用范围
本标准规定了利用高分辨X射线衍射测试Ⅲ族氮化物外延片晶格常数的方法。本标准适用于在氧化物衬底(Al2O3、ZnO等)或半导体衬底(GaN、Si、GaAs、SiC等)上外延生长的氮化物(Ga,In,A1)N单层或多层异质外延片晶格常数的测量。其他异质外延片晶格常数的测量也可参考本标准。

GB/T 30654-2014系列标准

GB/T 30649-2014 声屏障用橡胶件 GB/T 30650-2014 矿脂防蚀带低温可操作性检测方法 GB/T 30651-2014 矿脂防蚀带耐高温流动性检测方法 GB/T 30652-2014 硅外延用三氯氢硅 GB/T 30653-2014 Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法 GB/T 30659-2014 假肢和矫形器 要求和试验方法 GB/T 30658-2014 假肢和矫形器 开具下肢假肢处方考虑的因素 GB/T 30657-2014 假肢和矫形器 描述下肢截肢或先天性下肢缺失患者活动量考虑的因素 GB/T 30656-2014 碳化硅单晶抛光片 GB/T 30655-2014 氮化物LED外延片内量子效率测试方法

GB/T 30654-2014 中可能用到的仪器设备

X射线显微镜 X荧光光谱/XRF（能量色散型X荧光光谱仪） X射线(衍射)仪/能谱仪部件及外设 X射线散射仪 X射线衍射仪(XRD) 同位素质谱仪 气质联用仪 电镜制样设备 光纤光谱仪 ICP-MS 核磁共振波谱仪 扫描探针/原子力显微镜SPM/AFM 导热仪、热导仪 工业CT 凝胶/WB/CL成像系统


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