GB/T 30654-2014
Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法
Test method for lattice constant of Ⅲ-nitride epitaxial layers
GBT30654-2014, GB30654-2014
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- 标准号
- GB/T 30654-2014
- 别名
- GBT30654-2014
GB30654-2014 - 发布
- 2014年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 30654-2014
- 适用范围
- 本标准规定了利用高分辨X射线衍射测试焉族氮化物外延片日格常数的方法。 本标准适用于在氧化物衬底(ALO:,ZnO等)或半导体衬底(GaN.Si.GaAs、SiC等)上外延生长的氮化物(Ga，in，ADN单层或多层异质外延片晶格常数的测量。 其他异质外延片晶格常数的测量也可参考本标准。 2 符号