GB/T 30654-2014
Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法

Test method for lattice constant of Ⅲ-nitride epitaxial layers

标准号

GB/T 30654-2014

发布日期

2014年12月31日

实施日期

2015年09月01日

废止日期

无

中国标准分类号

H21

国际标准分类号

77.040.20

发布单位

CN-GB

适用范围

本标准规定了利用高分辨X射线衍射测试Ⅲ族氮化物外延片晶格常数的方法。本标准适用于在氧化物衬底(Al₂O₃、ZnO等)或半导体衬底(GaN、Si、GaAs、SiC等)上外延生长的氮化物(Ga,In,A1)N单层或多层异质外延片晶格常数的测量。其他异质外延片晶格常数的测量也可参考本标准。

GB/T 30654-2014系列标准

GB/T 30654-2014 中可能用到的仪器设备