SJ/T 11492-2015 光致发光法测定磷镓砷晶片的组分仪器谱

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标准号: SJ/T 11492-2015
发布日期: 2015年04月30日
实施日期: 2015年10月01日
废止日期: 无
中国标准分类号: H83
国际标准分类号: 29.045
发布单位: CN-SJ

适用范围: 本标准规定了采用光致发光测试系统对表面经过处理的磷镓砷(GaA_s1-xP_x)晶片组分进行测试的方法。本标准适用于气相外延生长的,光致发光峰(λ_PL)在640 nm~670 nm范围内时,对应磷的摩尔分数为36%到42%的n型GaA_s1-xP_x晶片。

SJ/T 11492-2015
光致发光法测定磷镓砷晶片的组分

Test methods for measurement of composition of gallium arsenide phosphide wafers by photoluminescence

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