技术规格：大等离子体输出： 6kW (160V, 38A)操控压力： 1×10-2 to 1×10-1Pa (Ar, O2, N2 atmo......
技术规格：大等离子体输出： 6kW (160V, 38A)操控压力： 1×10-2 to 1×10-1Pa (Ar, O2, N2 atmo......
效果:提高薄膜密度，折射率环境稳定性膜波长漂移小光学吸附少提高膜粘附性提高表面强度控制膜压力技术规格：大等离子体输出： 6kW (160V, 38A......
特性：等离子体源被整合到真空室中并产生高密度等离子体。等离子体源可用作等离子体辅助沉积（离子镀），并且可以改善光学薄膜、保护膜和功能膜的薄膜性能。并且也可用于等......
BS-80011BPG产生高密度等离子体的内置型等离子体枪安装在真空室内产生高密度等离子体的等离子体源。利用和真空蒸镀结合的等离子体辅助沉积技术（离子镀），能提......
技术规格：zei大放电输出3.2kW (160V, 20A)zei大辅助输出功率2kW (200V, 10A)工作压力8×10-3 ～ 8×10-2P......
Features特性活化反应蒸发（ARE）技术，促进坩埚上方的高效放电，以增强蒸发材料的电离。可选择CPPS模式、低温工艺和正常等离子模式。可以改装到现有的真空......
Features特性在低温过程中能形成高密度氧化膜。电子束激发等离子体的反应沉积，与离子辅助效应有关。活化反应蒸发（ARE）技术，促进坩埚上方的高效放电，以增强......
Features特性BS-80020CPPS低温工艺等离子源该等离子体源专门用于低温工艺，例如塑料基板/薄膜。真空沉积膜的薄膜质量可以通过等离子辅助沉积来降低基......
功能简介：BS-80020CPPS等离子体源BS-80020CPPS是用于辅助低温（100℃以下等）下塑料基板和胶片成膜的等离子体源。本系列产品是专门为等离子源......
规格和选项射频-12010射频-12020射频-12030射频-12040最大功率输出输出连接器输入电压输入电流振荡方式振荡频率输出稳定性脉动谐波失真冷却方式外......
使用示例规格和选项射频-12010射频-12020射频-12030射频-12040最大功率输出输出连接器输入电压输入电流振荡方式振荡频率输出稳定性脉动谐波失真冷......
特点根据模式操作射频电源内的预设输出和时间数据自动控制输出 每个模式最多可设置 5 个点圆弧切割功能电弧计数功能计算电弧出现的次数，并在达到设定次数时停止输出。......
RF-120系列是多功能电源，标配DeviceNet，RS232C和模拟接口，以及模式操作，弧形切割/计数功能，过去数据存储等。 我们还提供可与每个电源组合的匹......
这是用于等离子体生成的13.56MHz高频电源（RF电源），用于溅射、蚀刻、CVD和离子镀等薄膜制造和加工。RF-120系列是多功能电源，标配DeviceNet......
等离子体炬每个高频振荡器配有专用的等离子体炬。能产生体高密度等离子的体炬直径及结构两层冷却水管结构，内管使用陶瓷管，与石英管相比耐久性高※ (已取得......
产品系列（额定输出功率）：6kW型，35kW型，100kW型，200kW型*300kW型也已经生产等离子体炬每个高频振荡器配有专用的等离子体炬。能产生体高密度等......
原理・特征在大气压或者接近大气压的低气压环境下，将高频电源集中于局部，通过电磁感应使各种气体在瞬间变成１万度左右的超高温等离子体。热等离子体属于电弧放电，往等离......
产品特点：通过高频感应加热产生大约1万度的热等离子体，经过物理/化学反应过程，能合成纳米颗粒及厚膜(镀膜)。原理・特征在大气压或者接近大气压的低气压环境下，将高......
TP 系列 高频感应等离子体发生器通过高频感应加热产生大约1万度的热等离子体，经过物理/化学反应过程，能合成纳米颗粒及厚膜(镀膜)。产品特点：通过高频感应加热产......
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