Features特性在低温过程中能形成高密度氧化膜。电子束激发等离子体的反应沉积，与离子辅助效应有关。活化反应蒸发（ARE）技术，促进坩埚上方的高效放电，以增强......
Features特性BS-80020CPPS低温工艺等离子源该等离子体源专门用于低温工艺，例如塑料基板/薄膜。真空沉积膜的薄膜质量可以通过等离子辅助沉积来降低基......
功能简介：BS-80020CPPS等离子体源BS-80020CPPS是用于辅助低温（100℃以下等）下塑料基板和胶片成膜的等离子体源。本系列产品是专门为等离子源......
规格和选项射频-12010射频-12020射频-12030射频-12040最大功率输出输出连接器输入电压输入电流振荡方式......
使用示例规格和选项射频-12010射频-12020射频-12030射频-12040最大功率输出输出连接器输入电压输入电流......
特点根据模式操作射频电源内的预设输出和时间数据自动控制输出 每个模式最多可设置 5 个点圆弧切割功能电弧计数功能计算电弧出现的次数，并在达到设定次数时停止输出。......
RF-120系列是多功能电源，标配DeviceNet，RS232C和模拟接口，以及模式操作，弧形切割/计数功能，过去数据存储等。 我们还提供可与每个电源组合的匹......
这是用于等离子体生成的13.56MHz高频电源（RF电源），用于溅射、蚀刻、CVD和离子镀等薄膜制造和加工。RF-120系列是多功能电源，标配DeviceNet......
等离子体炬每个高频振荡器配有专用的等离子体炬。能产生体高密度等离子的体炬直径及结构两层冷却水管结构，内管使用陶瓷管，与石英管相比耐久性高※ (已取得......
产品系列（额定输出功率）：6kW型，35kW型，100kW型，200kW型*300kW型也已经生产等离子体炬每个高频振荡器配有专用的等离子体炬。能产生体高密度等......
原理・特征在大气压或者接近大气压的低气压环境下，将高频电源集中于局部，通过电磁感应使各种气体在瞬间变成１万度左右的超高温等离子体。热等离子体属于电弧放电，往等离......
产品特点：通过高频感应加热产生大约1万度的热等离子体，经过物理/化学反应过程，能合成纳米颗粒及厚膜(镀膜)。原理・特征在大气压或者接近大气压的低气压环境下，将高......
TP 系列 高频感应等离子体发生器通过高频感应加热产生大约1万度的热等离子体，经过物理/化学反应过程，能合成纳米颗粒及厚膜(镀膜)。产品特点：通过高频感应加热产......
产品规格：ItemSpecificationRemarksPowder grain sizeApprox. 0.1～100μmDiffers according......
产品特点：根据原料可以选择合适的送料板和喷嘴。使用可选的无震动单元，能够进一步减少震动，使送料更加稳定。开发纳米颗粒的合成/镀膜用的高频感应等离子体装置需要利用......
产品特点：该台式送粉器能稳定地供给亚微米～100μm左右的微细颗粒。通过载气输送微细粉末。还能够输送有着高聚集特性的1μm～纳米尺寸的微细颗粒。送粉速度在1～5......
产品特点：用气体通过管道定量输送粉末的送粉器。该台式送粉器能稳定地供给亚微米～100μm左右的微细颗粒。通过载气输送微细粉末。还能够输送有着高聚集特性的1μm～......
TP-99010FDR 粉末供应装置用气体通过管道定量输送粉末的送粉器。产品特点：用气体通过管道定量输送粉末的送粉器。该台式送粉器能稳定地供给亚微米～100μm......
产品规格：项目规格备注对象粉末粒径大约 0.1～100μm因粉末的种类、形状、状态而不同。送粉速度大约 1～50g/min因粉末的种类、形状、状态而不同。需要根......
选配机器无震动单元（振动机构）大容量原料供应料斗（1L, 7L）送粉速率控制器送粉速率监测产品规格：项目规格备注对象粉末粒径大约 0.1～100μm因粉末的种类......
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