Automated Industrial AFM for High-Resolution 3D MetrologyPark Systems推出革命性的XE-3D......
Park NX-3DM的特点 倾斜式Z轴扫描系统NX-3DM独具匠心地将Z轴扫描器倾斜设计，且通过专利的串扰消除原子力显微镜平台，XY轴与Z轴扫描器完......
* 应用 侧壁和侧凹高分辨率成像 侧壁和侧凹临界尺寸(CD)测量NX-3DM的倾斜式Z轴扫描器设计让探针能够扫描到光刻胶的侧壁和侧凹结构。·......
Park NX-3DM Accuracy Like Never Before随着半导体越变越小，设计如今需要做到纳米级，但是传统的测量工具无......
产品介绍 Park Systems推出的NX-3DM全自动原子力显微镜系统，专为垂悬轮廓、高分辨率侧壁成像和临界角测量设计。借助独有的XY轴和Z轴独立......
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