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 PICOSUN™ R系列设备提供高质量ALD薄膜的沉积技术,并在各种各样的衬底上都表现ji佳的均匀性,包括zui具挑战性的通孔的、超高深宽比和颗粒等......
PICOSUN原子层沉积系统ALD R-200高级版(PICOSUN™ ALD R-200 Advanced) PICOSUN®R-200 Advan......
敏捷的设计实现了zui高质量的ALD薄膜沉积以及zui终的系统灵活性,可以满足未来的需求和应用。专利的热壁设计具有完全du立的入口和仪器,可实现无颗粒工艺,适用......
PICOSUN™ P系列量产ALD系统定义了高产量ALD的新时代。我们全自动化、真空集群与产线兼容的P系列ALD确保了zui大的产出效率,并且具有世界级的工艺纯......
PICOSUN™ 200mm 生产线上的产品是200mm以下晶圆的自动化、高产量的工业ALD加工设备。包括PICOSUN™ P系列Pro ALD设备。该工具可以......
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Picosun适应性强其客户包括最大的电子制造商,小型的创新型挑战者以及全球领先的大学。 Picosun的组织机构和种类繁多的ALD解决方案都可以满足每个客户的......
Picosun独特的突破性ALD专业知识可追溯到ALD技术本身的诞生。于1974年在芬兰发明了ALD方法,并在工业上获得了专利。在高质量ALD系统设计方面拥有丰......
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