OPTM 半导体膜厚测试仪

· 膜厚测量中必要的功能集中于头部

· 通过显微分光高精度测量绝对反射率（多层膜厚、光学常数）

· 1点只需不到1秒的高速tact

· 实现了显微下广测量波长范围的光学系（紫外～近红外）

· 通过区域传感器控制的安全构造

· 搭载可私人定制测量顺序的强大功能

· 即便是没有经验的人也可轻松解析光学常数

· 各种私人定制对应（固定平台，有嵌入式测试头式样）

· 绝对反射率测量

· 膜厚解析

· 光学常数解析（n：折射率、ｋ：消光系数）

构成图

半导体膜厚测试仪OPTM 式样Specifications

※ release 时期 是OP-A1在2016年6月末、OP-A2、OP-A3预定2016年9月。

＊ 膜厚范围是SiO2换算。

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途