全晶圆工业阴极荧光CL-SEM系统Säntis 300阴极荧光（CL）

Attolight定量CL-SEM系统具备大视场快速扫描功能，同时可获取SEM图像、高光谱CL图像和光学光谱。300mm中间感受器可手动加载较小直径的晶圆或形状复杂的衬底，仪器会自动进行处理。Säntis300全晶圆工业CL-SEM系统是全晶圆阴极发光显微镜，可全自动化控制150、200和300毫米晶圆。其优点包括：1、可控制300毫米的晶圆；2、高效的CL-SEM扫描成像效率；3、同时进行电镜成像和光学信号采集；4、边缘检测和晶圆准确定位（优于10µm）；5、可对晶圆翘曲度进行自动映射和调整。Säntis300系统提供3种不同的采集模式，可根据不同需求和应用进行定制：•面扫描模式（FWBrush模式）•线扫描模式（AWPix模式）•多点扫描模式。工业市场应用包括：1、GaN及其应用：高强度LED对发射效率和可靠性要求较高，特别是在汽车和UVCLED应用中。2、光子学和电力电子应用GaN：需要更大功率和更小、更轻的包装，例如物联网和汽车应用。3、II-VI族材料GaAs及其应用：应用于太阳能和电力电子；碳化硅用于电力电子；µLED等其他应用。例如：MicroLed微观结构发光二极管的LED质量控制以及GaN中的螺纹位错缺陷计数和碳化硅衬底质量控制。

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