IMP-EPD 等离子体刻蚀终点检测仪

IMP-EPD是一款差泵、加固型二次离子质谱仪，用于分析离子束蚀刻过程中的二次离子和中性离子。

仪器简介：
IMP离子蚀刻探针（Ion Milling Probe）,自带差式泵，坚固的二次离子质谱仪，适于分析离子蚀刻过程中的二次离子和中性粒子.
独有的专业终点检测（End Point Detection）仪器，用于离子蚀刻控制以及过程质量最优化监测。

主要特点：

·差式泵歧管，经连接法兰，接到过程室
·离子光学器件，带能量分析器和内置离子源
·Penning规和互锁装置，以提供过压保护
·数据系统与过程控制工具整合

参数：
• 高灵敏度的 SIMS/MS，带脉冲离子计数检测器
• 三级过滤四极杆，标准配置质量数为300 amu
• 稳定性(24h以上，峰高变化小于 ±0.5%)
• 通过 RS232、RS485或以太网， 软件MASsoft控制
• 程控DDE, 平行数字式I/O, RS232通讯

应用：
• 终点检测（End Point Detection）
• 靶的纯度鉴定
• 质量控制/ SPC.
• 残余气体分析
• 泄漏监测

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途