技术参数:
ULTRA基本规格 | |
分辨率 | 1.0 nm @ 15 kV 1.7 nm @ 1 kV 4.0 nm @ 0.1 kV |
加速电压 | 0.1 - 30 kV |
探测电流 | 4 pA - 20 nA |
放大倍数 | 12 - 900,000x |
电子枪 | 热场发射 |
标准探测器 | 镜筒内置式In-Lens二次电子探测器和EsB探测器,样品室内AsB探测器和ET探测器 |
图象处理 | 7种积分和平均模式 |
系统控制 | 基于Windows® XP的SmartSEM™ |
经销商
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扫描电镜SEM
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