NANONEX涂镀层及薄膜测厚仪, Ultra-100清洁和单分子层成膜机集成了清洁和单分子层气态成膜功能与一体，可以用于纳米压印模具和基板提供单分子层分辨能力的成膜和清洁任务，也可以广泛用于其他需要真空，紫外，加热，成膜的各种应用，诸如光刻模具的清洁和成膜处理等。