技术特点
【技术特点】-- NRE-4000 (ICPA) 全自动ICP刻蚀系统
基于PC控制的立柜式百级ICP-RIE刻蚀系统,拥有快速的刻蚀能力;
配套Lab View软件,菜单驱动,自动记录数据;
触摸屏监控;
全自动系统,带安全联锁;
四级权限,带密码保护;
自动上下载片;
带Load Lock预真空锁;
可以支持ICP和RIE两种刻蚀模式;
实时显示真空、功率、反射功率图表,以及流量实时显示;
【技术特点对用户带来的好处】-- NRE-4000 (ICPA) 全自动ICP刻蚀系统
【典型应用举例】-- NRE-4000 (ICPA) 全自动ICP刻蚀系统
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