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那诺-马斯特电子束刻蚀, 全自动上下载片,带低温晶圆片冷却和偏压样品台的深硅刻蚀系统,带8" ICP源。在低温刻蚀的技术下,系统可以达到硅片的高深宽比刻蚀。
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