沈阳科晶其他, 4"高真空RTP炉OTF-1200X-4-RTP-HV 是一款精巧型快速热处理管式炉，配有4"石英管及高真空系统（机械泵+分子泵）， 是专为半导体或太阳能电池基片（最大3"）的退火而设计。本机采用10KW红外灯管加热，最快升温速度为50℃/s，设有30段温度控制，精度为±1℃。此外，通过RS485口和控制软件可在计算机上实现实时控制和温度曲线显示。