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沈阳科晶其他, 4"高真空RTP炉OTF-1200X-4-RTP-HV 是一款精巧型快速热处理管式炉,配有4"石英管及高真空系统(机械泵+分子泵), 是专为半导体或太阳能电池基片(最大3")的退火而设计。本机采用10KW红外灯管加热,最快升温速度为50℃/s,设有30段温度控制,精度为±1℃。此外,通过RS485口和控制软件可在计算机上实现实时控制和温度曲线显示。
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